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!我的天,这不就是想吃西红柿炒鸡蛋还得种西红柿嘛!”
戈登·蒂尔:【既然现在硅是芯片的主流材料,我就跟大家详细讲一下硅晶圆的制作好了。当初做“锗晶”的过程就后面几句话简单说一下。】
观众大松饼:“对对对,我就想知道,拔丝的硅怎么就变成芯片的。”
戈登·蒂尔:【硅在沙子中主要以二氧化硅的形式存在,所以,先要将沙子与焦炭、煤或者木屑等混合,在石墨电弧炉中高温加热,将二氧化硅还原成硅。
这样大概能获得纯度在98%左右的多晶硅,然后再经过一些列化学过程,比如三氯氢硅法进行逐步提纯,最终得到纯度在9个9以上的电子级多晶硅。
但用于芯片制作的硅必须是单晶硅,这两者区别在于,单晶硅的硅原子排列方向是有序的,而多晶硅不是。
从多晶硅到单晶硅,这个时候就要用到CZ直拉法了,所谓“拉晶”。
拉单晶工艺是硅片制作最核心的工艺步骤,它决定了硅片的质量和纯度。
刚才说了,这里用来拉晶的多晶硅材料是9个9以上的纯度,而最终的半导体硅片纯度必须达到11个9以上,即99.999999999%。
第一步,把多晶硅材料放在坩埚内加热熔化。
第二步,把“晶种”放进去。所谓晶种,就是和目标晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的“种子”。用不同晶向的种子会得到不同晶向的单晶。
所谓种什么,得什么。
第三步,将晶种缓慢地垂直拉伸,晶体会在晶种下端生长,并随着晶种的提拉逐渐长长,形成一根“晶棒”。
现在晶圆尺寸越做越大,从过去的2寸、4寸到8寸,为了提高良率和品质,现在又在CZ法中的核心设备CZ单晶炉中配备了磁场产生装置,用来进行温度控制。
这种加了磁场的工艺称为MCZ法,是当下的主流技术。
当然,现在的单晶硅制备技术除了直拉法还有FZ悬浮区熔法。
直拉法的优点是出品的硅含氧量较高、机械强度更大,在制作电子元件过程中不易形变,且更容易做出大尺寸的硅棒。
而且直拉法成本更低,晶体的生长速度较快。目前大概有85%的单晶硅片由CZ直拉法制成。
但是FZ悬浮区熔法也有它的优势,这种方式做出来的单晶硅电阻率非常高,特别适合用来制作电力电子器件。比如整流器、探测器件、IGBT等高功率器件。
另外FZ悬浮区熔法不会用到坩埚,避免了坩埚造成的污染,使得单晶硅的纯度更高,能更好满足制作功率器件的要求。
用FZ悬浮区熔法拉出来的单晶硅尺寸主要为6寸。】
江维补充道:【4英寸硅片产生于1986年,6英寸产生于1992年,8英寸产生于1997,12英寸产生于2005年。】
戈登·蒂尔:【英特尔和IBM2002年建成了12英寸硅片产线,2005年就推出产品了,还是挺快的。可惜我看不到了……】
江维:【12英寸的硅片在2005年的时候市场占比在20%左右,在2017年已经接近67%,市场还在持续扩大。
下一个技术节点是18英寸,以英特尔和台积电等厂商为主导,相关研发专案据说已经取得了一些进展,但因为不具备生厂效益而有所搁置。
所以,12英寸硅片还没有受到产品迭代所带来的影响,未来较长一段时间内应该会继续保持市场地位。
另外FZ悬浮区熔法拉出来的单晶硅尺寸现在已经可以做到8寸了,不过再往上就很困难了。】
观众最爱螺蛳粉:“等等,刚刚不还在说硅棒么,那个多少寸多少寸的,是怎么出来的?”
江维把弹幕复制了一遍发到群里,既然科普就科普个明白呗。
戈登·蒂尔:【微笑.gif,晶棒做出来以后,用钻石刀将单晶硅晶棒横向切割成圆片,再经过抛光后就可以得到硅晶圆。
晶棒的直径决定了晶圆的直径,这里讲的多少英寸都是指的直径。】